2、晶圆产生斜片时会导致机械手抓取反常，存在整个cassette被推出掉落的危险。

　　5、需求相等检测不一样的原料、不同透明度的晶圆，防止因资料特性差异导致的误检或漏检。

　　■E3NC智能传感器经过实时核算方针物的概括积分面积，精准辨认片材堆叠状况。当检测到积分面积反常增大时，体系当即触发报警并联动设备停机。

　　■E3NC经过实时剖析检测方针的波峰方位差异，精准辨认物料歪斜状况。当核算出的方位差值超出设定阈值时，体系当即判定为斜片毛病，同步触发报警信号并联动设备停机调整。

　　■E3NC经过实时比对检测方针的波峰方位与预设基准间隔的差异，精准判别物料曲折状况。当方位差值超出安全阈值时，体系当即触发弯片报警并联动设备调整或停机。

　　■E3NC选用镜反射型的检测方法，处理了以往一般反射型传感器对磨边后的高反光球面检测不稳定的课题。

　　■针对高透明度的物体检测（95%透明度薄膜）,E3NC选用多波长的激光光源，经过不同波段光线的穿透与反射特性差异对透明体进行细心的检测。装备：